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第983章 光刻机流片成功

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的良品率,居然能达到98%!

这不是开创了先河,是什么?

另外便是......

多重曝光技术。

芯片多重曝光技术。

这个技术,是大部分的光刻机厂商的核心技术。

光刻机在进入第四代之后,最小的工艺结点,就是28nm。

至于第五代光刻机,目前全球是被一一家公司垄断掉了。

至于第六代光刻机.......

这玩意,尚处于传说中。

而第四代的光刻机,在节点达到了28nm之后。

想要进一步缩小,依靠单次曝光,已经是无能为力了......

故此的,产业界开始采用多次曝光,或者是刻蚀来实现缩小制程。

其中,最关键的两种工艺是双重曝光技术,以及自对准双重成像技术。

所谓的双重曝光,采用的技术就是,前后曝光不同图形叠加,来实现更小,更精细的制程。

这种方法的优点是可以实现更高精度,缺点是增加了成本和工艺,且对叠加精度要求较高。

相较之下,自对准双重成像技术则容易得多,同时可以实现精度提高一倍。

但是这种办法,也是有一个非常明显的缺点。

那就是设计工程师,设计出来的版图必须符合一定的规则。

换而言之......

只有符合一定规则的设计,才适合使用自对准双重成像技术.......

正是因此的......

全世界,各个光刻机工厂,才是会如此的头疼......

对于这个技术,只能叹息着......

毕竟......

两个办法,各有优劣.......

但是,第四代的光刻机,的确是走到了尽头......

而第五代的光刻机,却是被彻底的垄断了......

想要打破垄断,就只能想办法,实现技术上的突破。

创造出来......

属于自己的极紫外线光刻机.......

然而,这里面的难度,又岂是那么轻松,就能突破掉的??

若是真的有那么简单,这个技术,就不会困扰全球的光刻机市场,这么多年了......

心中叹息......

林墨随后的,就是拨通了李市首的电话。

随着电话拨通了之后,李市首的声音响起。

“哈哈!林先生,您有什么事情吗?”

“嗯,李市首,我是来通知你一件事的。”

林墨淡漠的道。

“我研究所的光刻机,流片成功了,制造出来的芯片,良品率,98%......”

“多......多少?!!”

这一刻,李市首直接的,失声喊道。

神色,更是惊愕不已!

对此,全然不敢相信!

“98%??!!”

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